Bando: fornitura di un sistema cluster di deposizione di film sottili basati su deposizione fisica che integri in una glovebox condizionata in azoto i seguenti sistemi: sistema di evaporazione termica di metalli, ossidi e materiali organici, sistema di sputtering e sistema per atomic layer deposition. Tale sistema integrato verrà utilizzato per la fabbricazione di dispositivi a film sottile come per esempio celle solari a perovskite. TUTTE LE SPECIFICHE SONO CONTENUTE NEI DOCUMENTI DI GARA
Lotto: lotto unico per la fornituraUN CLUSTER INTEGRATO in GLOVE-BOX PER DEPOSIZIONE TRAMITE ATOMIC LAYER DEPOSITION, EVAPORAZIONE TERMICA e SPUTTERING DI FILM SOTTIL
Forma di partecipazione: Singola
Data di aggiudicazione: 21-02-2024